北京科创鼎新真空技术有限公司

半导体真空腔体加工公司推荐「科创真空」

2021-06-21

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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






真空腔体加工的注意事项

真空腔体是保持内部为真空状态的容器,真空腔体加工要考虑容积、材质和形状。

超高真空系统主要采用不锈钢材质。其中300系列不锈钢(表1)是含Cr10%~20%的低碳钢,具有优良的抗腐蚀性、无磁性、焊接性好、导电率、放气率低和导热率低、能够在-270~900℃工作等优点,在高真空和超高真空系统中,应用较广。

为了减小腔体内壁的表面积,通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。超高真空系统的腔体,更多的是利用电解抛光来进行表面处理。





影响真空绝缘水平的主要因素

空隙间隔

真空的击穿电压与空隙间隔有着比较清晰的关系。试验标明,当空隙间隔较小时,击穿电压跟着空隙间隔的添加而线性添加,但跟着空隙间隔的进一步添加,击穿电压的添加减缓,即真空空隙发作击穿的电场强度跟着空隙间隔的添加而减小。当空隙到达一定的长度后,单靠添加空隙间隔进步耐压水平已经好不容易,这时选用多断口反而比单断口有利。其中300系列不锈钢(表1)是含Cr10%~20%的低碳钢,具有优良的抗腐蚀性、无磁性、焊接性好、导电率、放气率低和导热率低、能够在-270~900℃工作等优点,在高真空和超高真空系统中,应用较广。

一般以为短空隙下的穿主要是场致发射引起的,而长空隙下的的穿则主要是微粒效应所致。





真空腔体优势及特性


——按照客户要求,加工订制;

——一对一专业出图设计;

——可配套真空机组系统;

——耐高温、耐腐蚀;

——高质量、;

加工工艺,完全采用真空焊接技术拼装焊接;

先进的真空捡漏设备,更加保证产品的优越性;

超高真空主要应用在离子镀膜、高真空半导体设备、实验室设备等对环境要求极高的真空领域。

我公司采用三维建模软件,按照实际比例建立3D模型,根据客户文字、语言草图等需求表述,专业设计出适合客户所需产品方案(在方案定稿之前所有设计不收取任何费用)。

为了生产出匹配客户需求的产品,需要告知我公司以下几个问题点:

1、产品在使用过程中是否有温度产生,高温和低温分别是多少摄氏度,是否需要通水或液氮冷却等内外在因素。

2、对产品材质是否有特殊要求,真空领域腔体常用材质为:碳钢、铝、304不锈钢、316不锈钢等

3、产品的链接方式,抽真空的方式,抽真空所用的真空泵等

4、腔体真空度的要求,腔体抽完真空以后是否需要冲入保护气体或其他气体。

通常常见真空腔体技术性能:

材质:304不锈钢或客户材质。

腔体适用温度范围:-190℃~+1500℃(需加水冷却)

密封方式:氟胶“O”型圈或金属无氧铜密封圈

出厂检测事项:

1、真空漏率检测:标准检测漏率:1.3*10-8Pa●L/S    

2、水冷水压检测:标准检测压力:8公斤24小时无泄漏检测。

内外表面处理:拉丝抛光处理、喷砂电解处理、酸洗处理、电解抛光处理和镜面抛光处理等。